[디지털데일리 김도현기자] SKC가 반도채 소재 ‘극일(克日)’에 앞장선다. 일본의존도가 90% 이상인 블랭크마스크가 대상이다.

20일 산업통상자원부(장관 성윤모)는 “SKC가 반도체 공정 핵심소재 하이엔드급 블랭크마스크 시제품을 국내 수요기업과 테스트 중”이라며 “하반기 본격 양산 예정”이라고 밝혔다.

SKC는 2018년부터 총 430억원을 투자해 블랭크마스크 신규공장을 지난해 말 완공했다. 내년에는 첨단제품을 양산하는 것이 목표다.

'블랭크마스크'는 반도체 노광공정에 사용되는 포토마스크 원재료다. 블랭크마스크는 석영(쿼츠) 위에 금속막과 감광막을 도포해 만든다. 여기에 회로패턴을 형상화하면 포토마스크가 된다. 노광공정은 포토마스크를 올린 실리콘웨이퍼에 빛을 쏘아 회로를 새기는 과정이다.

반응시키는 빛의 파장에 따라 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF), 극자외선(EUV)용으로 구분된다. ArF와 EUV가 하이엔드급이다.

관련 시장은 성장세다. 공정 미세화에 따른 블랭크마스크 사용량이 증가한 덕분이다. SKC 자체 조사에 따르면 2018년 8000억원에서 오는 2025년 1조3000억원으로 확대될 전망이다. 매년 7% 성장하는 수준이다.

시장 리더는 일본 업체들이다. 호야, 신에츠 등이 90% 이상을 차지한다. 특히 극자외선(EUV)용은 호야가 독점하고 있다. EUV 공정을 도입한 삼성전자, TSMC 등도 호야의 마스크를 활용하는 것으로 알려졌다.
정부는 블랭크마스크 등 대(對)일본 수입 상위 20대 소재·부품·장비(소부장) 품목에 대해 2021년까지 공급 안정성을 확보할 방침이다. 이를 위해 국내 생산확대, 기술개발, 수입국 다변화 등을 추진 중이다.

이날 정승일 산업부 차관은 충남 천안 SKC 블랭크마스크 공장을 방문해 소부장 정책성과의 가속화를 강조했다. 정 차관은 “소부장 기술력 강화, 건강한 산업생태계 구축 등을 위해 정부, 수요·공급기업 간 긴밀한 협력이 중요하다”며 “소부장 100대 핵심 품목의 상용화에 올해 2100억원 이상을 투입할 것”이라고 말했다.

이용선 SKC 부사장은 “신규공장 완공에 필요한 환경 등 인허가 신속처리, 수입 장비 할당 관세 적용, 연구개발(R&D) 등을 적기 지원해 준 정부에 감사하다”면서 “국내 기업이 소부장 정책의 추진동력을 유지할 수 있도록 협력모델에 대한 관심 및 지원을 요청한다”고 언급했다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr