[디지털데일리 고성현 기자] 한미반도체가 한화정밀기계를 상대로 고대역폭메모리(HBM) 제조 필수 장비인 TC본더 특허 침해 소송을 제기했다. 한화정밀기계의 TC본더 구조가 한미반도체의 특허를 침해해 소를 제기했다는 취지다. 한화정밀기계 측은 "개발 과정에서 선행기술 조사과정을 거치고 있어 특정사가 자신의 특허를 침해했다는 주장은 사실과 다르다"는 입장을 밝혔다.

19일 업계에 따르면 한미반도체는 이달 4일 한화정밀기계가 한미반도체의 HBM 생산용 TC본더 특허를 침해했다며 서울중앙지법에 제소했다.

TC본더는 열 압착 방식을 활용해 D램 코어 다이나 칩과 기판을 붙이는 장비로, 실리콘관통전극(TSV) 공법을 활용한 고대역폭메모리(HBM) 구현에 핵심으로 꼽힌다. 한미반도체는 HBM용 TC본더를 2017년 SK하이닉스와 공동 개발한 후 독자 개발을 이어가며 SK하이닉스, 마이크론 등에 납품하고 있다. 한화정밀기계는 SK하이닉스용 TC본더 장비를 개발, 납품을 위해 신뢰성 테스트 등을 진행하고 있는 상황이다.

한미반도체 측은 2017년 업계 최초로 개발한 2개 모듈·4개 본딩 헤드 방식이 한화정밀기계 측 장비에 동일하게 적용된 점을 들어 관련 특허 소송을 제기한 것으로 알려졌다. 현재 한미반도체는 120여건의 HBM 장비 특허를 출원한 바 있다.

이에 한화정밀기계는 "30년이 넘는 반도체 장비 관련 R&D 기술을 기반으로 자체 개발한 제품을 제조 및 판매 하고 있다"며 "당사는 개발과정에서 선행기술 조사과정을 거치고 있으므로, 특정사가 자신의 특허를 침해하였다는 주장은 사실과 다름을 분명히 밝힌다"고 밝혔다.

이어 "당사는 공정경쟁을 최우선의 가치로 삼고 있으며, 관련 기술개발을 위한 업계의 특허권을 존중하여 사업을 운영하고 있다. 적법하지 않거나 경쟁사의 권리를 침해하는 방식으로 사업을 진행하지 않는다"며 "한미반도체의 특허침해 소장 내용은 해당사의 일방적인 주장만을 담고 있는 것으로, 당사는 이에 대한 반박과 함께 강력한 법적인 대응을 준비하고 있다"는 입장을 강조했다.

지난 5월 언론을 통해 보도된 한화정밀기계 전 연구원에 청구했던 부정경쟁행위 소송에 대한 입장도 다시 밝혔다.

회사는 "해당 사건은 연구원 개인을 피고로 한 소송으로 한화정밀기계와 직접적인관련이 없을 뿐만 아니라, 해당 소송에서도 해당 연구원이 한미반도체의 영업비밀을 침해하였다는 내용은 전혀 확인된 바가 없다"고 전했다.