[디지털데일리 김문기 기자] 에드워드 코리아는 영국에 본사를 두고 있는 글로벌 진공 및 가스처리 글로벌 기업의 한국지사다. 윤재홍 대표이사가 한국의 사업을 이끌고 있다.

근간은 1992년 합작회사 형태로 설립된 성원 에드워드다. 외국인 투자 기업으로 등록된 성원 에드워드는 2007년 에드워드 코리아로 상호를 변경하고 이듬해 모회사인 아트라스 콥코 그룹에 인수 합병됐다.

현재 에드워드 코리아는 천안 제1산업단지에 1공장을, 외국인 공단에 2공장을 설립하고, 제3산업단지에 3공장을 준공한 바 있다.

지난해 6월에는 충남 아산시에 새로운 제조시설을 준공했다. 총면적 1만6000제곱미터 규모의 최첨단 건식 진공 펌프 생산 공장으로 천안뿐만 아니라 중국 칭다오에 있는 진공 펌프 제조시설과 함께 반도체 제조에 사용되는 진공 펌프의 핵심 생산기지가 될 것으로 기대된다. 이 곳에는 100대 이상의 최첨단 가공장비 및 측정 장비, 온도 제어 시스템으로 운영되는 제조 시스템을 갖췄다. 지난해 6월 첫 양산을 시작했으며, 150명 이상의 고용 창출 효과를 냈다.

준공식에 참석한 케이트 윌슨 에드워드 반도체 사업부 사장은 "이 공장은 세계적인 반도체 수요의 비약적인 증가에 대응하여 우리의 고객을 지원하는 데 중요한 역할을 할 것”이라고 밝혔다.

에드워드는 반도체와 디스플레이 핵심 장비인 진공펌프 분야에서 세계 1위 기업이다. 국내 준공한 공장을 통해 삼성전자와 SK하이닉스뿐만 아니라 인텔과 마이크론, TSMC 등에 장비를 공급하고 있다. 우리나라가 전략적 기지인 셈이다.

에드워드 장비는 팹 상층부에 웨이퍼 제조를 위한 클린룸에 쓰인다. 터보 분자 펌프, PDS(Precursor Delivery System)과 극저온 시스템과 같은 장비가 설치된다. 클린룸 하층의 서브팹에도 에드워드 건식펌프와 가스저감장치가 설치돼 반도체 제조공정에 사용된다. 건식펌프의 경우 반도체 생산에 꼭 필요한 장비로 재료의 공정 반응 속도를 제어하고 챔버에서 생성되는 가스와 부산물을 제거한다. 가스저감장치도 챔버에서 생성된 가스 및 부산물을 제거하거나 무해한 수준으로 정화한다.

에드워드 코리아는 지난 2월 서울 코엑스에서 열린 ‘세미콘 코리아 2023’에 참가해 반도체 제조산업 내 탄소저감과 ESG 활동에 대한 협력을 강조하기도 했다.

하이 퍼포먼스 ALD 공정에 특화된 ‘iXH6520HTXS+’ 와 부식성 공정에 대응력을 극대화한 ‘iXH1220HTXS XD+’ 건식 펌프를 선보였다. 두 제품 모두 기존 iXH 펌프 시리즈의 온도 대역을 확장해, 보다 고도화 및 다변화되는 미래 반도체 공정 기술에 선행 대응할 수 있는 제품이다.

또한 극자외선노광장비(EUV) 를 지원하는 에드워드의 EUV 제니스 시스템의 하이드로겐 딜루션(Hydrogen Dilution)도 소개됐다. 화석 연료에 의지하지 않으면서 더 안전하고 친환경적으로 공정 가스를 처리할 수 있는 기술이다.

이 자리에서 윤재홍 대표는 “변화무쌍한 상황 속에서도 언제나 고객의 만족을 최우선으로 하는 경영을 하겠다”고 밝히기도 했다.