- 美 장비사 램리서치·KLA, 中 수출 허가제 도입

[디지털데일리 윤상호 기자] 미국이 반도체 산업 육성법 의회 통과에 이어 중국 반도체 산업 통제 고삐를 좼다. 중국에 공급할 수 있는 반도체 장비 기준을 상향했다. 중국 반도체 생태계 자립에 대한 견제를 강화했다. 중국 반도체 제조사가 7나노미터(nm) 공정에 성공했다는 관측이 나오는 상황에서 미국의 전략이 성공할 수 있을지 관심이 모아진다.

30일(현지시각) 블룸버그 등에 따르면 미국 상무부는 미국 반도체 장비업체 램리서치와 KLA에 중국 반도체 수탁생산(파운드리) 업체 SMIC에게 14nm 이하 공정이 가능한 반도체 장비를 공급하려면 정부의 허가를 받도록 통보했다.

블룸버그는 램리서치 팀 아처 최고경영자(CEO)와 KLA 릭 월러스 CEO가 “정부 수출 제한 조치 확대를 통보 받았다”라며 “14나노 이하 미세공정 장비를 중국에 수출하지 말라는 내용”이라고 말했다고 보도했다.

램리서치와 KLA는 미국 대표 반도체 장비사다. 이들이 장비를 판매하지 않으면 반도체 제조가 쉽지 않다.

반도체 미세공정은 시스템반도체의 경우 고성능 저전력 경쟁을 위해 메모리반도체의 경우 생산성 향상을 위해 중요하다. 이미 미국은 10nm 이하 장비 중국 공급을 차단하고 있었다. 또 네덜란드 ASML에 대서도 램리서치 KLA 등과 유사한 요구를 한 바 있다. ASML은 10nm 이하 미세공정 가능 장비 유일 공급사다.

한편 미국은 지난 28일(현지시각) 의회가 반도체 및 과학법(CHIPS and Science Act)을 승인했다. 조 바이든 미국 대통령 사인만 남았다. 반도체 산업 등에 2800억달러를 투자한다.

바이든 대통령은 “이 법은 우리 경제 성장을 위해서 필수”라며 “해외 반도체 의존도를 낮춰 국가 안보를 강화할 것”이라고 평가했다.

지나 레이몬도 미국 상무장관은 “지난 40년 동안 미국의 반도체 제조 경제가 시들면서 경제적 국가적 안보 취약성을 야기했다”라며 “반도체 및 과학법은 미국이 21세기를 계속 주도할 수 있도록 할 것”이라고 분석했다.