- 증착·식각 설비 3대 이전 설치

[디지털데일리 김도현 기자] 국내 소재·부품·장비(소부장) 기업을 지원할 반도체 테스트베드가 강화된다.

29일 나노종합기술원(원장 이조원)은 삼성전자에서 보유한 12인치(300mm) 반도체 장비 3대를 나노팹에 이전 설치한다고 밝혔다.

기술원은 지난해 3월 국내 최초로 12인치 반도체 소부장 테스트베드를 구축했다. 관련 기업과 연구기관 등에 양산단계 기술개발 및 실증 성능평가 서비스를 제공 중이다.

기술원은 “현재 구축된 테스트베드 장비는 일부 소재 중심으로 성능평가를 지원하고 있어 보다 다양한 소부장 국산화 개발 지원을 위해서는 추가적인 장비 확보가 필요한 상황이었다”고 설명했다.
새로 들여온 장비는 ▲금속박막 증착 스퍼터링 ▲실리콘 산화막 및 질화막 식각장비 ▲폴리실리콘 식각장비 등 3대로 다중 쳄버로 구성된다. 소부장 개발 및 실증테스트, 기존 8인치(200mm) 공정장비와 연계한 300mm 수준의 차세대 시스템반도체 개발에 활용할 계획이다.

앞서 기술원은 테스트베드 구축 과정에서 핵심 설비인 불화아르곤(ArF) 이머전 스캐너(12인치 노광장비)를 삼성전자로부터 확보했다. 이번에도 삼성전자의 적극적인 보유 장비 매각 이전 지원이 있었다는 후문이다. 삼성전자는 가용장비를 나노팹에서 사용할 수 있도록 협의했고 2021년 3대, 2022년 3대를 저가에 매각했다.

이를 계기로 기술원은 소부장 테스트베드 장비 확충 및 고도화를 통해 차세대 선행기술개발, 시제품제작 및 성능평가 등 신뢰성 있는 실증데이터를 제공할 방침이다. 종합반도체 대기업과 중소기업, 공공 테스트베드간 긴밀한 연계협력 생태계 기반 구축도 추진할 예정이다.

이조원 원장은 “최근 반도체 장비가격 급등, 납기지연 등으로 장비 확보가 어려운 상황에서 보유 장비 이전을 결정해준 삼성에 감사하다”며 “소부장 관련 기업이 필요로 하는 장비 및 공정기술 플랫폼 고도화와 개발 결과물이 수요기업에 신속히 적용될 수 있도록 대기업 등과의 연계협력을 강화해 소부장 기술자립을 앞당길 수 있도록 노력해 나갈 계획”이라고 강조했다.