반도체

삼성, 韓 반도체 생태계 강화…소부장 협력사 740억원 투자

김도현
- 지난 7월에도 1133억원 투자…추가 투자 기대

[디지털데일리 김도현 기자] 삼성전자가 우리나라 소재·부품·장비(소부장) 생태계 강화에 나선다. 지난해 일본 수출규제 이후 국내 협력사와의 거리가 줄어들고 있다. 반도체 공급망 다변화 및 안정화가 기대된다.

2일 미코세라믹스(217억원) 케이씨텍(207억원) 엘오티베큠(190억원) 뉴파워프라즈마(127억원) 등은 삼성전자에 유상증자를 결정했다고 밝혔다. 총 규모는 740억원이다.

미코세라믹스는 미코의 자회사로 반도체 세라믹 부품이 주력이다. 화학기상증착(LPCVD) 공정에서 웨이퍼 고온 가열 및 온도 안정성 유지를 담당하는 제품이다. LPCVD 장비에 투입된다.

케이씨텍은 화학기계연마(CMP) 장비가 메인이다. CMP는 웨이퍼 표면을 연마해 평탄화하는 작업이다. 기존 미국과 일본 업체가 주도했지만 케이씨텍이 점유율을 높여가고 있다.

엘오티베큠은 건식진공펌프 및 플라즈마 전처리시스템 등을 삼성전자에 납품한다. 해당 펌프는 반도체 장비를 진공 상태로 만들어준다. 외산 비중이 60% 이상인 가운데 엘오티베큠이 국산화에 나서고 있다.

뉴파워프라즈마 고주파(RF) 제너레이터, 식각 후처리 공정(RPS) 장비 등을 공급하는 업체다. 미국 업체가 주도하는 분야로 뉴파워프라즈마가 국산화에 앞장서고 있다.
삼성전자는 지난 7월에도 협력사 투자를 단행했다. 유상증자 방식으로 에스앤에스텍과 와이아이케이에 각각 659억원 473억원을 투입했다. 3달 새 약 2000억원에 가까운 금액을 6개 소부장 업체에 투자한 셈이다. 향후 추가 협력사 투자도 예상된다.

삼성전자의 협력사 투자는 지난 2017년 솔브레인, 동진쎄미켐 이후 3년 만이다. 미국, 일본 위주로 형성된 글로벌 반도체 공급망을 국내에 마련할 수 있는 계기가 될 것으로 보인다.

앞서 ‘K칩 시대’를 만들겠다는 의지를 드러내기도 했다. 지난 4월 원익IPS 테스 유진테크 PSK 등 국내 장비업체, 2~3차 부품 협력사와 업무협약(MOU)을 체결한 바 있다.

반도체 업계 관계자는 “일본 수출규제 사태 이후 삼성전자가 국내 협력사를 더 챙기는 분위기”라며 “전 세계적으로 자국보호주의 추세인 만큼 삼성전자 역시 한국의 반도체 생태계를 강화해야겠다는 생각을 하게 됐을 것”이라고 분석했다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr
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