- 넥스틴 ‘웨이퍼 패턴 검사’·유니테스트 ‘번인 테스트’ 장비 공급

[디지털데일리 김도현기자] 반도체 공정 미세화로 검사 단계가 중요해지고 있다. 다양한 검사장비를 통해 여러 테스트가 진행된다. 핵심 장비는 미국, 일본 업체가 주로 공급한다. 조달처 다변화, 공급망 안정화 등을 위해 국내 업체 분전이 필요한 상태다.

11일 업계에 따르면 넥스틴과 유니테스트는 각각 KLA(미국)·히타치(일본), 테러다인(미국)·어드반테스트(일본)이 주도하는 장비 시장에 진출한 상태다. 두 업체는 고객사를 확보하면서 시장점유율을 높여가고 있다.

그동안 반도체 테스트 분야에서 테스트소켓, 프로브카드 등 부품과 핸들러 등 보조장비는 국내 업체들이 자리를 잡은 품목이다. 부품은 ISC·티에스이, 보조장비는 테크윙·제이티 등이 담당한다. 반면 검사장비는 기술 난도가 높은 탓에 우리나라 기업이 진입하지 못했었다.

넥스틴은 반도체 웨이퍼 초미세 패턴의 결함 등을 찾아내는 장비를 만든다. 해당 시장은 KLA가 90% 이상, 나머지를 히타치가 공급하는 구도다. 웨이퍼 패턴 검사는 사진을 찍어, 시간대별로 달라진 부분이 있는지 찾아내는 과정이다. 이는 첩보위성 동작 원리와 유사하다. 넥스틴은 이스라엘의 관련 촬영기술을 적용, 기존 업체와 경쟁할 제품을 생산했다. 첩보위성 기술력을 갖춘 세계 6개국 중 이스라엘만 해당 기술을 민간에 이양한다.

패턴 검사장비는 빛을 조사하는 방식에 따라 브라이트필드(BF), 다크필드(DF)로 나뉜다. BF는 수직으로 빛을 쏴 반사광으로 패턴 표면을 찍고, DF는 비스듬하게 빛을 보내 산란광으로 패턴 표면을 찍는 방식이다. DF에 주력하는 넥스틴은 삼성전자, SK하이닉스, 매그나칩반도체 등을 고객사로 확보했다. 히타치 물량을 대체하면서, KLA 몫까지 가져오려는 분위기다.
유니테스트는 후공정 단계의 검사장비를 주로 공급한다. 테러다인, 어드반테스트 등이 장악한 분야다. 유니테스트는 점유율을 10% 이상까지 끌어올려, 국산화에 기여하고 있다.

유니테스트는 번인 테스트, 컴포넌트 테스트, 모듈 테스트 등의 장비를 양산 중이다. 번인 테스터는 열적 조건을 조성, 칩의 정상 작동 여부를 검사한다. 컴포넌트와 모듈의 경우 최종 테스트 단계로, 납품 전 전기적 동작 여부를 확인하는 과정이다. 해당 장비들은 SK하이닉스, 난야테크놀로지 등에 납품하고 있다.

반도체 업계 관계자는 “주요 검사장비는 기술 진입장벽이 높아, 국내 기업들이 다루기 힘든 분야다. 특허 문제가 있어, 도전조차 쉽지 않다”면서도 “당장 국내 업체가 해외기업과 동등한 수준의 장비를 낼 수는 없겠지만, 꾸준히 시도하는 곳들이 있는 점은 긍정적이다. 이미 어느 정도는 따라왔다고 본다”고 분석했다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr