에코프로에이치엔, 삼성엔지니어링과 400억원 규모 공급 계약
이번 계약은 에코프로에이치엔의 온실가스 감축 솔루션 사업 부문 중 대용량 촉매식 과불화화하합물(PFCs) 처리 설비(RCS) 관련이다. 해당 제품은 반도체 공정 중 핵심 공정인 식각 공정에서 사용되는 PFCs를 독자적인 촉매식 대형 온실가스 감축 기술로 제어한다.
PFCs는 6대 온실가스 중 지구온난화 계수(GWP)가 9200으로 상대적으로 높은 편이다. 이산화탄소 대비 온실가스 효과가 9200배라는 의미다. 반도체, 디스플레이 산업공정에서 주로 발생한다.
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