반도체

자비스, 엑스레이에 AI 결합한다

디지털데일리 발행일 2021-07-30 16:08:17
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김도현
- 반도체·배터리 검사장비 성능↑ 기대

[디지털데일리 김도현 기자] 엑스레인 전문업체 자비스가 차세대 기술을 반도체 및 배터리 검사장비에 적용한다.

30일 자비스는 엑스레이 검사장비에 딥러닝 기술을 도입해 성능을 높였다고 밝혔다.

그동안 자비스는 차세대 엑스레이 검사장비 개발을 진행해왔다. 인공지능(AI)을 엑스레이 검사장비에 투입하면서 경쟁력을 향상시켰다.

비파괴검사(NDT) 제품의 핵심 요소는 우수한 화질과 속도다. 검사 대상을 오랜 시간 촬영하면 좋은 화질을 만들 수 있지만 그만큼 회전율이 떨어지기 때문에 산업용으로는 적합하지 않다.

자비스는 인라인 반도체 검사에 적용되기 위한 핵심 요소로 딥러닝 기술을 이용했다. 최소 촬영 시간으로 뛰어난 엑스레이 화질을 제공하기 위함이다. 이미 300나노미터(nm)급 반도체 검사장비에 적용했다.

향후 자비스는 시스템 고도화를 위한 연구개발을 이어간다. 산업통상자원부가 주관하는 우수기업연구소육성(ATC+) 사업자로 선정돼 AI 기반 25nm 이하 고해상도 3차원(3D) 엑스레이를 이용한 비파괴 반도체 후공정 검사장비 개발에 착수했다.
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