- EUV 장비, 매출 비중 45%…처음으로 ArF 넘어

[디지털데일리 김도현 기자] 네덜란드 장비업체 ASML이 지난 2분기 성적표를 공개했다. 상승세를 이어간 가운데 극자외선(EUV) 장비가 최대 매출원으로 등극했다. 불화아르곤(ArF) 장비를 넘어선 첫 사례다. EUV 시대가 본격화했다는 증거다.

21일(현지시각) ASML은 2021년 2분기 매출액 40억2000만유로(약 5조4500억원) 영업이익 12억3900만유로(약 1조6800억원)를 기록했다고 밝혔다. 각각 전년동기대비 20.9%와 36.9% 상승했다.

피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 “2분기 매출 이익률은 50% 상회하면서 전분기 예상을 초과했다. 소프트웨어 업그레이드와 일회성 매출 회계 처리를 포함한 영향”이라며 “우리 제품군에 대한 수요는 여전히 높다. 생산능력 극대화를 위한 많은 노력을 하고 있다”고 설명했다.

이번 호성적 비결은 단연 EUV다. 차세대 노광 기술로 첨단 공정 핵심으로 꼽힌다. 삼성전자 TSMC에 이어 인텔 마이크론 난야 등까지 EUV 도입을 공식화했다.

EUV 매출 비중은 45%로 나타났다. 2분기에 9대를 판매했다. 상대적으로 ArF(34%) 비율이 전기(47%)대비 줄었다.

EUV 장비는 1대당 2000억 내외로 고가다. 그만큼 만들기도 어렵다. 제작 기간은 20주 이상이다. ASML은 지난해 31대를 고객사에 제공했다. 올해 상반기는 16대다. 신제품 출시로 당초 출하 목표(40여대)가 변경될 수도 있다. 현재 주문부터 납품까지 소요 기간은 24개월 수준인 것으로 전해진다.

ASML은 2분기에 신형 EUV 장비 ‘NXE:3600D’를 처음 공급하기도 했다. 전작 대비 생산성이 15~20% 개선된 제품이다.

ASML은 2분기 예약 매출액이 83억유로(약 11조2700억원)라고 공개했다. 이중 49억유로(약 6조6500억원)는 EUV가 차지했다. 이 기간 주문받은 금액으로 EUV 몫은 점차 커질 것으로 보인다.

베닝크 CEO는 “올해 매출은 작년보다 약 35% 증가할 것으로 기대하고 있다”고 이야기했다. 3분기 매출은 52억~54억유로로 예상했다.