- 美 KLA·日 히타치 등과 경쟁…복수 고객사 확보

[디지털데일리 김도현 기자] 넥스틴이 반도체 전공정 검사장비 국산화에 나선다. 미국과 일본 업체가 주도하던 분야다.

27일 넥스틴은 SK하이닉스와 장비 계약을 맺었다고 밝혔다. 계약금액은 98억원으로 전년 매출액의 104.37%다. 해당 장비는 SK하이닉스의 경기 이천 M16 팹 등에 투입된다.

넥스틴은 반도체 웨이퍼 초미세 패턴의 결함 등을 찾아내는 장비를 만든다. 웨이퍼 패턴 검사는 사진을 찍어 시간대별로 달라진 부분이 있는지 찾아내는 과정이다. 이는 첩보위성 동작 원리와 유사하다. 넥스틴은 이스라엘의 관련 촬영기술을 적용해 기존 업체와 경쟁할 제품을 생산했다.

패턴 검사장비는 빛을 조사하는 방식에 따라 브라이트필드(BF), 다크필드(DF)로 나뉜다. BF는 수직으로 빛을 쏴 반사광으로 패턴 표면을 찍고 DF는 비스듬하게 빛을 보내 산란광으로 패턴 표면을 찍는 방식이다. 넥스틴은 DF가 주력이다.

그동안 해당 시장은 미국 KLA가 90% 이상, 일본 히타치가 나머지를 담당해왔다. 지난 2014년 넥스틴이 독일 연구기관 프라운호퍼와 협업으로 웨이퍼 패턴결함 검사장비 ‘이지스(AEGIS)’를 개발하면서 분위기가 달라졌다. 이때부터 히타치 물량을 대체하면서 3파전 구도를 형성했다.
지난 6월에는 ‘이지스Ⅱ’를 출시하면서 전작보다 성능을 10% 끌어올렸다. KLA 제품과 유사한 생산성을 확보하면서 가격은 3분의 1 수준으로 판매 중이다. 업계에서는 이미 히타치를 넘어섰다고 평가한다.

넥스틴은 SK하이닉스, 매그나칩반도체 등을 고객사로 확보했다. 지난해부터는 삼성전자 시스템반도체 라인에도 장비를 공급했고 중국 양쯔메모리테크놀로지(YMTC) 푸젠진화반도체(JHICC) 등도 거래 대상이다.

반도체 업계관계자는 “넥스틴 검사장비가 성능을 인정받으면서 주문량이 증가하는 추세다. 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 업체 공장에 넥스틴 제품이 늘어날 것”이라고 설명했다.

넥스틴은 지난달 코스닥에 상장하면서 재원 마련이 수월해졌다. 실적은 지난해까지 적자였지만 올해 3분기까지 매출 347억원 영업이익 124억원 기록했다. 내년 목표 매출은 1000억원이다. 향후 BF 장비까지 개발해 포트폴리오를 확대할 방침이다.

한편 SK하이닉스는 M16 팹 공사가 막바지에 이르렀다. 연내 클린룸을 구축하고 내년부터 양산에 돌입할 계획이다. 해당 팹에서는 극자외선(EUV) 공정을 도입한 D램 등 최첨단 제품을 생산할 것으로 보인다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr