[디지털데일리 김도현기자] 네덜란드 ASML이 지난 1분기 실적을 공개했다. 지난해보다 실적이 개선, 코로나19 영향은 아직이다. 극자외선(EUV) 장비 일부 매출은 다음 분기로 넘어갔다.

16일 ASML은 2020년 1분기 매출액 24억4100만유로(약 3조2489억원), 영업이익 4억2700만유로(약 5683억원)를 기록했다고 밝혔다. 매출액과 영업이익은 각각 전년동기대비 9.5%, 27.8% 늘어난 수준이다.

피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 “1분기에는 EUV 장비 4대를 선적했다. 이번 분기 예약 매출은 31억유로로, EUV 장비 11대가 포함된 수치”라며 “고객사의 EUV 수요가 여전하다는 의미”라고 설명했다.

EUV 장비는 ASML이 독점으로 공급한다. 1대 당 1500억 이상에 달한다. 지난해 역대 최대 매출을 달성하는 데 큰 공헌을 했다. 나노 경쟁을 펼치는 삼성전자와 대만 TSMC가 주요 고객사다. 대다수가 반도체 위탁생산(파운드리)에서 활용 중이며, D램 라인에도 도입되기 시작했다.

1분기 공급한 4대 중 2대는 2분기 매출로 잡힌다. 고객사 요청으로 공장인수테스트(FAT) 이전에 EUV 장비를 입고했기 때문이다. 매출은 고객사 공장에 장비 설치 완료 후 반영된다.

아직까지는 불화아르곤(ArF) 장비가 ASML의 최대 매출처다. 여전히 50% 이상을 차지하고 있다. 삼성전자, SK하이닉스 등의 낸드플래시 생산량이 늘어나면서, 불화크립톤(KrF) 장비도 비중이 높아졌다. 낸드는 D램만큼 미세화가 필요하지 않아, KrF 장비로 양산 가능하다.

ASML은 코로나19 등 시장 불확실성으로 2분기 실적 전망을 제시하지 않았다. 베닝크 CEO는 “장비 수요에는 변화가 없고, 고객사의 취소나 연기도 없는 상황”이라면서도 “코로나19 위기로 세계 경제, 전자제품 수요, 장비 생산 및 부품 조달 등에 어떤 영향을 미칠지 예측하기 어렵다”고 말했다.

한편 ASML은 매년 EUV 장비 생산능력(CAPA)을 늘리고 있다. 지난 2018년 18대, 2019년 26대를 양산했다. 올해는 35대를 목표로 하고 있다. EUV 장비가 파운드리는 물론 D램 공정에도 적용되면서 EUV 장비 CAPA는 지속 상승할 것으로 보인다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr