- 블랭크마스크 매출 발생…CMP 패드 고객 확장

- 글라스 기판 샘플 테스트 진행

[디지털데일리 김도현 기자] SKC가 다소 주춤했던 블랭크마스크 분야에서 성과를 내기 시작했다. 국산화에 초점을 맞췄던 만큼 일본 의존도를 조금씩 줄여갈 것으로 기대된다. 다른 제품들도 규모가 커지거나 자리를 잡아가고 있다.

6일 SKC에 따르면 반도체 소재 자회사인 SK엔펄스는 지난해 블랭크마스크 인증을 끝내고 올해부터 매출이 발생하고 있다.

김종우 SK엔펄스 대표는 “아직 소규모 생산라인이라 전체 생산능력(캐파)을 활용해도 매출 300억원 수준”이라며 “고객 평가를 보면 기존 블랭크마스크 대비 내구성이 30% 좋은 것으로 나타난다. 원가개선과 수명 증대에 이점이 있어서 이를 근거로 (국내는 물론) 중국, 대만 등으로도 공격적인 마케팅을 펼칠 것”이라고 밝혔다.

블랭크마스크는 반도체 노광공정에 사용되는 포토마스크 원재료다. 블랭크마스크는 석영(쿼츠) 위에 금속막과 감광막을 도포해 만들고, 여기에 회로패턴을 형상화하면 포토마스크가 된다. 노광공정은 실리콘웨이퍼에 포토마스크를 올리고, 빛을 쏘아 회로를 새기는 과정이다.

그동안 해당 시장은 일본 호야, 신에츠 등이 주도해왔다. 점유율은 90% 이상에 달한다. 하이엔드 제품인 극자외선(EUV)용의 경우 호야가 독점 중인 것으로 전해진다. EUV는 최신 노광 기술로 고부가 시스템반도체에 이어 메모리로 적용 범위가 확대되고 있어 EUV용 블랭크마스크 수요도 빠르게 늘어나는 추세다.

앞서 SKC는 진공증착 기술 및 초청정 무진 관리 경험을 토대로 블랭스마스크 사업을 개시했다. 지난 2020년 충남 천안공장을 구축하고 상업화를 꾸준히 준비해왔으나 코로나19 영향, 높은 난도 등으로 예상보다 일정이 늦어진 바 있다. 본격적으로 뛰어든 지 2~3년이 지나서야 매출이 내기 시작한 셈이다.

김 대표는 “블랭크마스크 쪽에서 가시적인 결과가 나오면 추가 증설해서 사업을 크게 확대할 계획”이라고 강조했다.

같은 해 천안에 공장을 마련한 화학기계연마(CMP) 패드는 이미 납품 중이다. 이 소재는 반도체 원판인 실리콘 웨이퍼 표면을 연마해 평탄화하는 역할을 한다. 이를 통해 반도체 집적도를 높인다.

SK엔펄스의 CMP 패드 공장 가동률 지난해 1분기 60%에서 올해 1분기 70%로 증가했다. 반도체 불황에도 상승했다는 점에서 의미가 있다.

김 대표는 “CMP 패드 공급하는 고객이 2곳이다. 글로벌 업체 1곳을 추가 발굴해서 3곳으로 늘어난 예정”이라며 “국내외 고객들과 평가를 지속 진행 중이다. 올해 하반기면 재차 2곳이 확대돼 매출이 발생할 전망”이라고 전했다.

한편 글라스 반도체 기판을 다루는 자회사 앱솔릭스도 사업화 작업으로 분주하다. 이 회사는 기존 플라스틱 기반 인쇄회로기판(PCB)이 아닌 유리를 원재료로 하는 제품을 만든다.

지난해 11월 미국 조지아주 코빙턴 공장을 착공했다. 이는 1단계 투자로 2억4000만달러(약 3400억원)가 투입되고 연산 1만2000제곱미터(㎡) 생산능력(캐파)를 갖춘다. 2023년 말 완료 예정으로 2024년부터 양산될 것으로 보인다. 추후 진행될 2단계 투자는 3억6000만달러(약 5100억원) 규모로 완료 시 캐파가 7만2000㎡로 늘어난다.

오준록 앱솔릭스 대표는 “경북 구미 파일럿 라인에서 테스트용 샘플을 생산하고 있다”며 “초기에 수율(완성품 중 양품 비율) 45%를 목표로 하고 2024년 말 정상 가동 시 65%까지 올라갈 것”이라고 이야기했다.