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나인테크, 반도체 ‘포커스링’ 개발 돌입…매출처 확대 기대

디지털데일리 발행일 2021-09-27 16:32:55
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김도현
- 중기부 국책과제 수행기관 선정

[디지털데일리 김도현 기자] 배터리 및 디스플레이 장비업체 나인테크가 반도체 사업을 본격화한다.

27일 나인테크는 2021년 중소기업기술혁신개발사업 연구개발 주관기관으로 선정됐다고 밝혔다.

과제명은 ‘반도체 식각 장비의 세정 간 평균시간(MTBC) 향상을 위한 내식각성 부품(Focus ring) 제조 기술 개발’이다. 총 기간은 2년이다.

나인테크 관계자는 “이번 과제는 반도체 식각 공정에 사용되는 반도체 부품(포커스링) 개발이다. 실리콘 웨이퍼를 고정하고 균일한 플라즈마 밀도 유지와 웨이퍼 측면 오염을 방지하는 역할을 한다”고 설명했다.

이어 “하이 파워 플라즈마의 극한 환경에 노출돼 쉽게 식각 되기 때문에 주기적인 교체가 필요한 소모성 부품이다. 개발 완료 시 매출 증대에 기여할 수 있을 것으로 기대된다”고 덧붙였다. 외산 의존도를 낮춘다는 부분도 긍정 요소다.
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