- 나란히 실적 반등…삼성전자·TSMC 등 공격적 투자 효과

[디지털데일리 김도현 기자] 글로벌 반도체 장비업체가 반등했다. 미국 어플라이드·램리서치·KLA, 네덜란드 ASML, 일본 도쿄일렉트론(TEL) 등 ‘톱5’ 모두 매출이 올랐다. 삼성전자 등이 투자를 이어가면서 실적 개선에 성공했다.

어플라이드는 회계연도 4분기(7~9월) 전 세계 매출은 46억9000만달러(약 5조2308억원) 영업이익 12억8000만달러(약 1조4276억원)를 기록했다고 밝혔다. 전년동기대비 매출액 25% 영업이익 62% 상승했다.

어플라이드는 식각 장비와 금속증착 장비의 판매량 증가를 주요 요인으로 꼽았다. 각각 전년동기대비 30% 42% 수입이 늘었다. 회계연도 2020년(2019년 10월~2020년 9월) 전체 반도체 장비 매출액은 회계연도 2019년(2018년 10월~2019년 9월) 대비 5% 상승했다.

ASML은 3분기 매출액 39억5800만유로(약 5조3282억원) 영업이익 12억1600만유로(약 1조6370억원)을 기록했다고 밝혔다. 각각 전년동기대비 32.5% 77.2% 상승했다.

극자외선(EUV) 효과다. EUV 장비는 3분기 최대 매출처로 나타났다. 2분기까지 불화아르곤(ArF) 장비 비중이 가장 높았지만 처음으로 EUV가 1위를 차지했다. 삼성전자와 TSMC는 물론 SK하이닉스, 인텔 등도 도입을 준비하고 있어 점차 EUV 장비 비중은 높아질 것으로 보인다.

TEL은 회계연도 2분기(7~9월) 매출액 3533억엔(약 3조7965억원), 영업이익 735억엔(약 7898억원)을 기록했다고 밝혔다. 전년동기는 각각 2920억엔, 599억엔이었다.

반도체 장비매출이 회계연도 1분기(4~6월)에 살짝 꺾였지만 반등했다. TEL은 메모리 시장 상승세로 설비 투자가 늘어나면서 실적이 개선됐다고 설명했다. TEL도 EUV 효과를 누렸다. EUV용 트랙 장비 시장점유율 90% 이상을 차지하고 있다. 해당 장비는 포토레지스트를 도포하고 디벨롭하는 역할을 한다.

램리서치와 KLA도 상승세다. 램리서치는 3분기 영업이익 9억6100만달러(약 1조725억원)를 기록했다. 지난해 같은 기간보다 79% 오른 수준이다. KLA은 매출 15억4000만달러(약 1조7186억원)으로 전년동기대비 1억1000만달러(약 1228억원) 증가했다. 램리서치는 식각 장비, KLA 반도체 테스트 장비를 주력으로 한다.

반도체 장비업체 관계자는 “코로나19를 뚫어내고 칩 메이커의 증설이 계속되고 있다. 삼성전자, TSMC 등이 공격적으로 투자하는 분위기”라고 말했다.

한편 국제반도체장비재료협회(SEMI)는 2020년 300밀리미터(mm) 웨이퍼 팹 투자 규모는 전년대비 13% 증가해 기존 최고치 2018년을 넘어설 것이라고 밝혔다. 2023년에는 20% 증가할 전망이다. 금액으로는 700억달러(약 79조원) 수준으로 역대 최대다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr