SK머티리얼즈는 “특수가스 판매량 증가와 전구체(프리커서) 공급 확대 및 반도체 산업가스 신고 공급 등으로 사상 최초 600억원 이상 분기 영업이익을 달성했다”고 설명했다.
특수가스 분야에서는 삼불화질소(NF3), 육불화텅스텐(WF6) 공급량이 크게 늘었다. 프리커서의 경우 라인업이 지난해 5종에서 올해 10종으로 확대됐다.
한편 SK머티리얼즈는 올해 하드마스크(SOC) 개발에 착수한 상태다. SOC는 반도체 노광공정에 쓰이는 포토마스크 보조재료다. 지난 6월부터는 초고순도(99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다. 반도체 제조 시 실리콘 웨이퍼의 이물질을 제거하는 공정에서 쓰인다.
지난 2월에는 금호석유화학 전자소재사업을 인수, 포토레지스트 시장에 진출했다. 2021년 생산시설을 준공하고 2022년부터 연 5만갤런 규모 양산이 목표다. 우선 불화아르곤(ArF) 제품을 공급한 뒤, 극자외선(EUV) 포토레지스트 개발도 진행할 방침이다.