[디지털데일리 한주엽기자] 반도체 장비 부분품 전문업체인 인테그리스가 지난해 인수합병(M&A)을 완료한 ATMI와의 시너지 효과를 극대화하겠다는 계획을 밝혔다. ATMI는 반도체 디스플레이 재료 전문업체로 경기도 화성시에 생산 공장도 보유하고 있다. 인테그리스는 지난해 4월 ATMI를 인수했다.

임창환 인테그리스코리아 대표는 6일 기자와 만나 “인테그리스는 ATMI 인수 후 장비 부분품 회사에서 다양한 공정 재료까지 공급할 수 있는 통합 솔루션 회사로 거듭났다”며 “부분품과 핵심 공정 재료를 동시에 제공할 수 있는 업체는 전무하므로 이 분야에서 높은 성장세를 이어나갈 수 있을 것”이라고 말했다. 임 대표는 “인테그리스의 원주 공장과 인수를 완료한 ATMI의 화성 장안 공장에서 신규 부분품·재료를 양산하는 한편 장기적으로는 해외 수출도 늘려나갈 것”이라고 덧붙였다.

인테그리스는 풉(FOUP)과 캐리어 등 웨이퍼 출하 반송, 감광액(포토레지스트) 용기, 각종 유체 재료의 여과 및 분사 펌프, 정화 필터, 밸브 등 다양한 종류의 반도체 장비 부분품을 양산하는 업체다. 노광, 식각, 증착, 세정, 화학적기계적연마, 이온주입 등 전공정 장비용 부분품 대부분을 공급한다. 풉, 감광액 분사 펌프, 감광액 용기가 주력 제품이다. 풉의 경우 과거에는 웨이퍼를 그냥 담기만 해도 됐으나 최근 들어서는 정전기 및 먼지가 발생되지 않는 특수 제품이 필요하다. 감광액 분사 펌프는 공기 접촉을 없애 웨이퍼 위로 감광액을 뿌렸을 때 기포가 생기지 않아야 하는 것이 핵심이다. 초미세공정에선 아주 작은 기포도 수율에 영향을 미치기 때문이다. 감광액 용기는 깨지지 않는 소재를 적용한 제품이 관심을 받고 있다. 인테그리스는 이처럼 새로운 기술이 적용된 부분품을 이미 판매하고 있거나, 고객사로부터 신뢰성 테스트를 받고 있다고 설명했다.

이 회사는 최근 각종 화학 재료의 여과 및 필터 부분품을 적극적으로 내세우며 소자 업체의 ‘수율 향상’을 돕는다는 사실을 슬로건으로 내 걸고 영업력을 확대하고 있다. 20나노 이하로 반도체의 회로 선폭이 축소되면서 미세오염을 없앤, 보다 정제된 화학 재료의 필요성이 커지고 있다는 것이 회사 측의 설명이다. 특히 최근 들어서는 소자 업체들이 신공정 도입 전 장비, 부분품, 재료 업체들과 사전 정보 교환 및 협력 사례가 많으므로 ATMI 합병 시너지가 상당히 클 것이라고 회사 관계자는 강조했다.

ATMI는 감광액, 배합 세정액, 구리도금 증착 소재, 이온주입용 가스 등 반도체 전공정에 필요한 많은 종류의 재료를 공급하고 있다. 현재 ATMI의 화성 장안 공장에선 이온주입 공정용 가스 재료와 실린더가 주로 양산된다. ATMI의 이온주입 가스 실린더는 유해가스를 탄소 흡착제 재료를 통해 저장, 전달하는 독자 SDS(Safe Delivery Source) 기술이 적용돼 있다. 대기압보다 낮은 압력으로 가스를 주입하기 때문에 밸브가 열리거나 용기가 깨져도 유해 물질이 누출되지 않는다. 임 대표는 “올해 화성 공장에서 식각 및 화학적기계적연마(CMP) 공정에서 사용하는 습식 화학 세정제를 추가로 양산하겠다”고 목표를 밝혔다. 원주 공장에선 정전기를 방지하는 ESD 유체 처리 튜브를 양산할 계획이다.

한편 인테그리스는 4일부터 6일까지 서울 코엑스에서 개최된 세미콘코리아 2015에 전시 부스를 차리고 최근 출시한 중간 점도(100~300cP)용 감광액 분사 펌프인 인텔리젠 MV 시스템을 선보였다. 이 제품은 2개의 스테이지에서 감광액을 빼낼 수 있는 구조로 유량 조절이 용이한 것이 특징이다. 통상 감광액은 펌프에서 빠져나와 웨이퍼로 분사되기 전에 오염을 제거하기 위해 필터를 거친다. 필터링 성능을 높이려면 감광액이 너무 많이 혹은 너무 적게 흐르면 안 된다. 인텔리젠 MV 시스템은 유량을 세밀하게 조절할 수 있으므로 필터링이 잘 된다. 필터를 불필요하게 사용하지 않는 덕에 전체 운영 비용도 절감할 수 있다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr