반도체

쇼트 “고내열성 특수유리로 한국 반도체 디스플레이 시장 공략”

디지털데일리 발행일 2013-01-31 16:47:57
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한주엽 기자
[디지털데일리 한주엽기자] 특수 유리 전문 업체인 독일 쇼트가 ‘고내열성’이라는 특징을 가진 세라믹글래스(결정화 유리) 신제품 ‘넥스트리마’로 한국 반도체 디스플레이 장비 수요 기업을 적극 공략한다. 올해 한국 시장에서 이 분야에서만 400~500억원의 신규 매출을 올리겠다는 포부다.

세미콘코리아 전시회 참관차 방한한 마이클 글라닝어 쇼트 넥스트리마 제품 매니저는 31일 기자들과 만나 “작년 10월 출시한 넥스트리마가 한국 반도체 디스플레이 업계에서 좋은 평가를 받고 있다”며 “벌써 한국 기업으로부터 첫 번째 수주를 따 냈다”라고 밝혔다. 그는 “넥스트리마는 경쟁사 제품 대비 내열성이 높고 열팽창계수는 제로에 가깝다”라며 “무엇보다 장기간 사용할 수 있어 교체 등 유지보수 비용이 절감돼 수요 업체들의 관심이 높다”라고 설명했다.

넥스트리마는 최대 950℃의 고온에서도 견딜 수 있다. 경쟁사(일본 NEG) 제품의 작동 온도가 600~700℃라는 점을 고려하면 내열성이 훨씬 높은 것이다. 열팽창계수는 제로(0)에 가깝다. 이런 특징 덕분에 열 충격에도 매우 강하다. 차가운 유리컵에 뜨거운 물을 부으면 깨져버리고 마는데, 이는 뜨거운 물이 닿은 부분은 팽창하지만 반대쪽 면은 팽창하지 않기 때문이다. 내열성이 높고 열팽창계수가 낮으면 이처럼 열 내구성도 높아진다.

쇼트는 넥스트리마가 반도체 디스플레이 생산 시설에서 사용되는 고온 챔버의 이너 라이닝(inner lining)과 열 차단막(heat shield)에 활용될 수 있다고 설명했다. 디스플레이 박막트랜지스터(TFT)의 열처리공정 장비에도 적합하다. 글라닝어 매니저는 “고해상도 및 유기발광다이오드(OLED) 디스플레이 생산 공정인 저온폴리실리콘(LTPS) 기반 열 챔버에도 넥스트리마가 활용될 수 있다”라고 말했다.

김동필 쇼트코리아 이사는 “올해 넥스트리마로만 400~500억원대의 매출을 올릴 것이라는 목표를 세워뒀다”라며 “주요 고객은 장비 업체지만 마지막 수요 고객인 반도체 디스플레이 생산 업체 관계자들을 두루 만나 넥스트리마를 알리고 있다”라고 말했다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr
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