- ASML, 네덜란드 반도체 미세공정 필수장비 제조사

[디지털데일리 윤상호기자] 삼성전자 이재용 부회장이 반도체 미세공정 경쟁력 강화를 직접 챙겼다. 네덜란드 반도체 장비 제조사 ASML을 찾았다.

삼성전자(대표 김기남 김현석 고동진)는 지난 13일(현지시각) 네덜란드 에인트호번 ASML 본사에서 피터 버닝크 ASML 최고경영자(CEO)와 반 덴 브링크 최고기술책임자(CTO)를 만났다고 14일 밝혔다. 삼성전자 디바이스솔루션(DS)부문장 김기남 대표가 동행했다.

ASML은 극자외선(EUV) 장비 제조사다. EUV는 기존 불화아르곤(ArF) 대비 파장이 짧아 웨이퍼에 반도체 회로를 더 미세하게 그릴 수 있다. 현재 EUV 장비를 만드는 곳은 ASML뿐이다. 삼성전자는 반도체 위탁생산(파운드리)과 D램 제조에 EUV 공정을 도입했다.

이 부회장은 이들과 ▲EUV 장비 공급계획 및 운영 기술 고도화 방안 ▲인공지능(AI) 등 미래 반도체를 위한 차세대 제조기술 협력 ▲코로나19 사태 장기화에 따른 시장 전망 및 포스트 코로나19 대응을 위한 미래 반도체 기술 전략 등에 대한 의견을 나눴다. ASML 공장도 방문했다. EUV 장비 생산 현황을 직접 살폈다.

삼성전자는 2000년대부터 ASML과 협력했다. 2012년 ASML에 지분 투자를 했다. 양사는 EUV 초기부터 기술 고도화를 위해 힘을 모았다.

한편 이재용 부회장은 코로나19 유럽 재확산에도 불구 네덜란드를 찾았다. 지난 5월 이후 첫 해외 경영이 이곳이라는 점은 ASML이 그만큼 중요하다는 점을 상징한다. 삼성전자는 2030년 시스템반도체 1위를 선언했다. 이를 위해서는 세계 파운드리 1위 TSMC를 넘어야 한다. TSMC는 EUV 장비 수급 경쟁사다. 삼성전자와 더불어 EUV를 상용화 한 반도체 업체다.

<윤상호 기자>crow@ddaily.co.kr