[디지털데일리 한주엽기자] 성균관대학교 나노소재기반휴먼인터페이스융합연구센터는 25일 AP시스템과 ‘차세대 능동형(AM) 유기발광다이오드(OLED) 대량생산 기술’에 대한 특허권 통상실시 기술이전계약을 체결했다고 밝혔다. 이번 계약에 따라 AP시스템은 성균관대의 기술을 가져오고 2015년까지 정액기술료 15억원을 납부키로 했다.

AM OLED 패널 제작의 핵심인 저온실리콘결정화(LTPS) 공정은 비정질 실리콘(a-Si)을 결정화된 실리콘으로 변환하는 공정으로 ①비정질 실리콘 막 증착 ②증착된 막에 포함된 수소를 제거하는 탈수소 공정 ③레이저 열처리 등 크게 3단계로 구성된다. 이번에 이전된 기술은 수소를 포함하지 않는 비정질 실리콘 막 증착 장비 개발에 사용된다. 성균관대가 개발한 기술은 탈수소 공정이 필요하지 않아 해당 기술이 적용된 장비를 사용하는 AM OLED 디스플레이 제조사는 생산설비 및 제조단가 감소, 생산 수율 개선을 달성할 수 있다. 또한 현재 사용되고 있는 실리콘 막 증착 장비는 전량 수입에 의존하고 있어 해당 기술을 적용한 장비가 개발되어 상용화될 경우 수입대체 효과도 기대할 수 있다.

AP시스템은 주력인 레이저 열처리 장비에 해당 기술을 적용한 비정질 실리콘 막 증착 기술을 융합, 단일 공정의 결정화 실리콘 막 형성 장비를 개발할 계획이다. 내년 상반기까지 장비 개발 및 테스트를 마치고 이후 디스플레이 제조사와 협력을 통해 대형 기판용 양산장비를 개발, 2015년 말 또는 2016년 초 시장에 진입하는 것을 목표로 잡고 있다. 2016년 해당 장비를 통한 매출액 규모는 1000억원을 예상하고 있다. AP시스템의 주요 고객사는 삼성디스플레이다. 삼성디스플레이를 제외한 패널 업체들은 대형 OLED의 기판 기술로 결정화된 실리콘이 아니라 산화물반도체(옥사이드)를 도입하고 있는 상태이므로 해당 장비는 삼성 측으로 공급될 것으로 추정된다.

한편 이번 기술이전은 미래부의 ‘공공기관 보유기술 공동활용지원사업’의 지원을 받아 추진됐다. 미래부 관계자는 “국가 미래성장동력 및 차세대 먹거리 분야를 선도하는 AM OLED 대량생산 원천기술을 국내 중견기업이 확보하게 됨으로써 산업경쟁력을 확보하고 고부가가치를 창출할 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr