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올림푸스한국, 반도체‧FPD 검사용 산업 현미경 2종 출시

디지털데일리 발행일 2017-07-24 10:40:51
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이형두

MX63
MX63

MX63L
MX63L

[디지털데일리 이형두기자] 올림푸스한국(www.olympus.co.kr 대표 오카다 나오키)는 반도체 및 평판디스플레이(FPD) 검사용 산업현미경 MX63과 MX63L을 출시한다고 24일 밝혔다.

이번에 출시된 두 신제품에는 MIX 관찰법이 새롭게 도입됐다. 해당 기법은 명시야, 형광, 편광 관찰을 암시야 관찰과 조합하는 올림푸스 고유의 관찰 기법이다. 두 관찰 기법의 장점을 결합해 웨이퍼의 색상 정보 및 회로 구조를 한 번에 확인할 수 있다.

고광도 LED 광원을 적용해 색 재현율을 향상시키고 포커스 에이드(Focus Aid) 기능을 통해 초점 성능도 높였다. MX63은 웨이퍼 직경 최대 200밀리미터(mm)까지, MX63L은 최대 300밀리미터까지 관찰 가능하다.

전종철 올림푸스한국 사이언스솔루션사업본부 본부장은 “초미세 공정을 기반으로 하는 반도체나 평판디스플레이 분야는 눈에 띄지 않는 세세한 부분까지 정확히 확인하는 것이 필수적”이라며 “올림푸스의 신기술이 집약된 산업현미경이 다방면에서 활용되어 한국 반도체 산업의 신뢰성과 정확도를 높이는 데 도움이 되길 바란다”고 말했다.

<이형두 기자>dudu@ddaily.co.kr

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